Molekulyar nur epitaksisining qisqacha tavsifi (MBE)
Molecular Beam Epitaxy (MBE) texnologiyasi 1950-yillarda vakuumli bug'lanish texnologiyasidan foydalangan holda yarimo'tkazgichli yupqa plyonkali materiallarni tayyorlash uchun ishlab chiqilgan.Ultra yuqori vakuum texnologiyasining rivojlanishi bilan texnologiyani qo'llash yarimo'tkazgich fanlari sohasiga kengaytirildi.
Yarimo'tkazgich materiallarini tadqiq qilishning motivatsiyasi tizimning ish faoliyatini yaxshilashi mumkin bo'lgan yangi qurilmalarga bo'lgan talabdir.O'z navbatida, yangi material texnologiyasi yangi uskunalar va yangi texnologiyani ishlab chiqishi mumkin.Molekulyar nur epitaksisi (MBE) epitaksial qatlam (odatda yarimo'tkazgich) o'sishi uchun yuqori vakuumli texnologiyadir.U bitta kristalli substratga ta'sir qiluvchi manba atomlari yoki molekulalarining issiqlik nuridan foydalanadi.Jarayonning o'ta yuqori vakuumli xususiyatlari in-situ metallizatsiya va yangi o'stirilgan yarimo'tkazgich yuzalarida izolyatsion materiallarning o'sishiga imkon beradi, bu esa ifloslanishsiz interfeyslarga olib keladi.
MBE texnologiyasi
Molekulyar nur epitaksisi yuqori vakuumda yoki o'ta yuqori vakuumda (1 x 10) amalga oshirildi.-8Pa) atrof-muhit.Molekulyar nurli epitaksiyaning eng muhim jihati uning past cho'kish tezligidir, bu odatda plyonkaning epitaksial o'sishini soatiga 3000 nm dan kam bo'lishiga imkon beradi.Bunday past cho'kma darajasi boshqa cho'kish usullari bilan bir xil tozalik darajasiga erishish uchun etarlicha yuqori vakuumni talab qiladi.
Yuqorida tavsiflangan ultra yuqori vakuumni qondirish uchun MBE qurilmasi (Knudsen xujayrasi) sovutish qatlamiga ega va o'sish kamerasining ultra yuqori vakuum muhiti suyuq azot aylanish tizimi yordamida saqlanishi kerak.Suyuq azot qurilmaning ichki haroratini 77 Kelvin (-196 °C) ga sovutadi.Past haroratli muhit vakuumdagi aralashmalar tarkibini yanada kamaytirishi va yupqa plyonkalarni cho'ktirish uchun yaxshi sharoitlarni ta'minlashi mumkin.Shuning uchun, -196 °C suyuq azotning uzluksiz va barqaror ta'minotini ta'minlash uchun MBE uskunasi uchun maxsus suyuq azot sovutish aylanish tizimi talab qilinadi.
Suyuq azotli sovutish aylanish tizimi
Vakuumli suyuq azotli sovutish aylanish tizimi asosan quyidagilarni o'z ichiga oladi:
● kriogenli tank
● asosiy va tarmoqli vakuumli ko'ylagi quvur / vakuumli ko'ylagi shlang
● MBE maxsus faza ajratuvchi va vakuumli ko'ylagi egzoz trubkasi
● turli xil vakuumli ko'ylagi vanalar
● gaz-suyuqlik to'sig'i
● vakuumli qoplamali filtr
● dinamik vakuum nasosi tizimi
● Oldindan sovutish va tozalash tizimi
HL Cryogenic Equipment Company MBE suyuq azotli sovutish tizimiga, MBE texnologiyasi uchun maxsus MBE suyuq azotli sovutish tizimini va vakuum izolyatorining to'liq to'plamini muvaffaqiyatli ishlab chiqish uchun tashkil etilgan texnik magistralga bo'lgan talabni payqadi.edko'plab korxonalar, universitetlar va ilmiy-tadqiqot institutlarida qo'llanilgan quvur tizimi.
HL kriogen uskunalari
1992-yilda tashkil etilgan HL Cryogenic Equipment Xitoyning Chengdu Holy Cryogenic Equipment kompaniyasiga tegishli brenddir.HL Cryogenic Equipment yuqori vakuumli izolyatsiyalangan kriogen quvurlar tizimini va tegishli qo'llab-quvvatlash uskunalarini loyihalash va ishlab chiqarishga sodiqdir.
Qo'shimcha ma'lumot olish uchun rasmiy veb-saytga tashrif buyuringwww.hlcryo.com, yoki elektron pochta manziliga yuboringinfo@cdholy.com.
Yuborilgan vaqt: 2021 yil 06-may