Molekulyar nur epitaksiyasi (MBE) haqida qisqacha ma'lumot
Molekulyar nurli epitaksiya (MBE) texnologiyasi 1950-yillarda vakuumli bug'lanish texnologiyasidan foydalangan holda yarimo'tkazgichli yupqa plyonkali materiallarni tayyorlash uchun ishlab chiqilgan. Ultra yuqori vakuum texnologiyasining rivojlanishi bilan texnologiyaning qo'llanilishi yarimo'tkazgichlar fani sohasiga ham kengaytirildi.
Yarimo'tkazgich materiallarini tadqiq qilishning motivatsiyasi tizimning ishlashini yaxshilashi mumkin bo'lgan yangi qurilmalarga bo'lgan talabdir. O'z navbatida, yangi material texnologiyasi yangi uskunalar va yangi texnologiyalarni ishlab chiqarishi mumkin. Molekulyar nurli epitaksiya (MBE) epitaksial qatlam (odatda yarimo'tkazgich) o'sishi uchun yuqori vakuumli texnologiyadir. U bitta kristalli substratga ta'sir qiluvchi manba atomlari yoki molekulalarining issiqlik nuridan foydalanadi. Jarayonning ultra yuqori vakuum xususiyatlari yangi o'stirilgan yarimo'tkazgich yuzalarida izolyatsion materiallarni joyida metalllashtirish va o'stirish imkonini beradi, natijada ifloslanishsiz interfeyslar hosil bo'ladi.
MBE texnologiyasi
Molekulyar nurli epitaksiya yuqori vakuumda yoki ultra yuqori vakuumda (1 x 10) amalga oshirildi.-8Pa) muhit. Molekulyar nur epitaksiyasining eng muhim jihati uning past cho'ktirish tezligi bo'lib, bu odatda plyonkaning soatiga 3000 nm dan kam tezlikda epitaksial o'sishiga imkon beradi. Bunday past cho'ktirish tezligi boshqa cho'ktirish usullari bilan bir xil darajadagi tozalikka erishish uchun yetarlicha yuqori vakuumni talab qiladi.
Yuqorida tavsiflangan ultra yuqori vakuumga erishish uchun MBE qurilmasi (Knudsen xujayrasi) sovutish qatlamiga ega va o'sish kamerasining ultra yuqori vakuum muhiti suyuq azot aylanish tizimi yordamida saqlanishi kerak. Suyuq azot qurilmaning ichki haroratini 77 Kelvin (−196 °C) gacha sovutadi. Past haroratli muhit vakuumdagi aralashmalar miqdorini yanada kamaytirishi va yupqa plyonkalarning cho'kishi uchun yaxshiroq sharoit yaratishi mumkin. Shuning uchun, MBE uskunasi uchun -196 °C suyuq azotni uzluksiz va barqaror ta'minlash uchun maxsus suyuq azot sovutish aylanish tizimi talab qilinadi.
Suyuq azot sovutish aylanish tizimi
Vakuumli suyuq azotli sovutish aylanish tizimi asosan quyidagilarni o'z ichiga oladi:
● kriogenli idish
● asosiy va tarmoqli vakuumli qoplamali quvur / vakuumli qoplamali shlang
● MBE maxsus faza ajratgichi va vakuum qoplamali egzoz trubkasi
● turli xil vakuumli qoplamali klapanlar
● gaz-suyuqlik to'sig'i
● vakuumli qoplamali filtr
● dinamik vakuum nasos tizimi
● Oldindan sovutish va tozalash isitish tizimi
HL Cryogenic Equipment Company MBE suyuq azotli sovutish tizimiga bo'lgan talabni, MBE texnologiyasi uchun maxsus MBE suyuq azotli sovutish tizimini muvaffaqiyatli ishlab chiqish uchun tashkil etilgan texnik asosni va vakuumli izolyatsiyaning to'liq to'plamini e'tiborga oldi.edko'plab korxonalarda, universitetlarda va ilmiy-tadqiqot institutlarida qo'llanilgan quvur tizimi.
HL kriogen uskunalari
1992-yilda tashkil etilgan HL Cryogenic Equipment Xitoyning Chengdu Holy Cryogenic Equipment kompaniyasiga qarashli brenddir. HL Cryogenic Equipment yuqori vakuumli izolyatsiyalangan kriogen quvurlar tizimi va unga tegishli yordamchi uskunalarni loyihalash va ishlab chiqarishga sodiqdir.
Qo'shimcha ma'lumot olish uchun rasmiy veb-saytga tashrif buyuringwww.hlcryo.comyoki elektron pochta manziligainfo@cdholy.com.
Nashr vaqti: 2021-yil 6-may
