Yangiliklar - Chip MBE loyihasi o'tgan yillarda yakunlandi

Texnologiya

Molekulyar nur epitaksisi yoki MBE - bu kristall substratlarda kristallarning yuqori sifatli yupqa plyonkalarini etishtirishning yangi usuli. O'ta yuqori vakuum sharoitida isitish pechkasi barcha turdagi kerakli komponentlar bilan jihozlangan va bug 'hosil qiladi, atomik yoki molekulyar nurni kolimatsiyalashdan so'ng hosil bo'lgan teshiklar orqali, to'g'ridan-to'g'ri yagona kristalli substratning tegishli haroratiga in'ektsiya qilish, molekulyar nurni boshqarish substratni bir vaqtning o'zida skanerlash, u kristall hizalama qatlamlarida molekulalar yoki atomlarni substratning "o'sishi" da yupqa plyonka hosil qilishi mumkin.

MBE uskunasining normal ishlashi uchun yuqori tozalik, past bosim va o'ta toza suyuq azotni uskunaning sovutish kamerasiga doimiy va barqaror tashish kerak. Umuman olganda, suyuq azot bilan ta'minlaydigan tank 0,3MPa dan 0,8MPa gacha bo'lgan chiqish bosimiga ega. -196 ℃ da suyuq azot quvurlarni tashish paytida osongina azotga bug'lanadi. Gaz-suyuqlik nisbati taxminan 1:700 bo'lgan suyuq azot quvur liniyasida gazlangandan so'ng, u suyuq azot oqimining katta qismini egallaydi va suyuq azot quvurining oxirida normal oqimni kamaytiradi. Bundan tashqari, suyuq azot saqlash idishida tozalanmagan qoldiqlar bo'lishi mumkin. Suyuq azot quvurida nam havoning mavjudligi ham muz shlakining paydo bo'lishiga olib keladi. Agar bu aralashmalar uskunaga tushirilsa, bu uskunaga oldindan aytib bo'lmaydigan zarar etkazadi.

Shu sababli, tashqi saqlash idishidagi suyuq azot MBE uskunasiga changsiz ustaxonada yuqori mahsuldorlik, barqarorlik va tozalik bilan tashiladi va past bosim, azot yo'q, aralashmalar yo'q, 24 soat uzluksiz, bunday transportni boshqarish tizimi malakali mahsulot.

Mos keladigan MBE uskunalari

2005 yildan beri HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ushbu tizimni optimallashtirish va takomillashtirish bilan shug'ullanadi va xalqaro MBE uskunalari ishlab chiqaruvchilari bilan hamkorlik qiladi. MBE uskunalari ishlab chiqaruvchilari, jumladan DCA, REBER, kompaniyamiz bilan hamkorlik aloqalariga ega. MBE uskunalari ishlab chiqaruvchilari, jumladan DCA va REBER, ko'plab loyihalarda hamkorlik qildilar.

Riber SA - molekulyar nur epitaksisi (MBE) mahsulotlari va aralash yarimo'tkazgichlarni tadqiq qilish va sanoat ilovalari uchun tegishli xizmatlarning etakchi global yetkazib beruvchisi. Riber MBE qurilmasi juda yuqori boshqaruvga ega bo'lgan substratga materialning juda nozik qatlamlarini joylashtirishi mumkin. HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) vakuum uskunasi Riber SA bilan jihozlangan. Eng katta uskuna Riber 6000 va eng kichigi Compact 21. U yaxshi holatda va mijozlar tomonidan tan olingan.

DCA dunyodagi yetakchi MBE oksidi hisoblanadi. 1993 yildan beri oksidlanish texnikasi, antioksidant substratni isitish va antioksidant manbalarni tizimli ishlab chiqish amalga oshirildi. Shu sababli, ko'plab etakchi laboratoriyalar DCA oksidi texnologiyasini tanladilar. Kompozit yarimo'tkazgichli MBE tizimlari butun dunyoda qo'llaniladi. HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ning VJ suyuq azot aylanma tizimi va bir nechta DCA modellarining MBE uskunalari P600, R450, SGC800 va boshqalar kabi ko'plab loyihalarda mos keladigan tajribaga ega.