Texnologiya
Molekulyar nurli epitaksiya yoki MBE kristall substratlarda yuqori sifatli yupqa kristall plyonkalarini o'stirishning yangi usuli hisoblanadi. Ultra yuqori vakuum sharoitida isitish pechkasi barcha kerakli komponentlar bilan jihozlangan va bug' hosil qiladi, nur atom yoki molekulyar nur bilan to'qnashgandan so'ng hosil bo'lgan teshiklar orqali bitta kristall substratning tegishli haroratiga to'g'ridan-to'g'ri in'ektsiya qilinadi, molekulyar nurni substratga skanerlashni bir vaqtning o'zida boshqaradi, bu kristall hizalanish qatlamlaridagi molekulalar yoki atomlarni substratda yupqa plyonka hosil qilish uchun "o'sish" imkonini beradi.
MBE uskunalarining normal ishlashi uchun yuqori tozalik, past bosim va o'ta toza suyuq azot uskunaning sovutish kamerasiga uzluksiz va barqaror ravishda tashilishini talab qiladi. Umuman olganda, suyuq azotni ta'minlaydigan bakning chiqish bosimi 0,3MPa va 0,8MPa oralig'ida bo'ladi. -196℃ haroratdagi suyuq azot quvur orqali tashish paytida osongina azotga aylanadi. Gaz-suyuqlik nisbati taxminan 1:700 bo'lgan suyuq azot quvurda gazlashtirilgandan so'ng, u ko'p miqdorda suyuq azot oqimi maydonini egallaydi va suyuq azot quvurining oxirida normal oqimni kamaytiradi. Bundan tashqari, suyuq azot saqlash idishida tozalanmagan chiqindilar bo'lishi mumkin. Suyuq azot quvurida nam havoning mavjudligi muz shlaklarining paydo bo'lishiga ham olib keladi. Agar bu aralashmalar uskunaga tashlansa, bu uskunaga oldindan aytib bo'lmaydigan zarar yetkazadi.
Shuning uchun, tashqi saqlash idishidagi suyuq azot yuqori samaradorlik, barqarorlik va tozalik bilan changsiz ustaxonadagi MBE uskunasiga tashiladi va past bosim, azot yo'q, aralashmalar yo'q, 24 soat uzluksiz, bunday transportni boshqarish tizimi malakali mahsulotdir.
Mos keladigan MBE uskunalari
2005-yildan beri HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ushbu tizimni optimallashtirib va takomillashtirib kelmoqda hamda xalqaro MBE uskunalari ishlab chiqaruvchilari bilan hamkorlik qilmoqda. DCA, REBER kabi MBE uskunalari ishlab chiqaruvchilari bizning kompaniyamiz bilan hamkorlik aloqalariga ega. DCA va REBER kabi MBE uskunalari ishlab chiqaruvchilari ko'plab loyihalarda hamkorlik qilishgan.
Riber SA molekulyar nurli epitaksiya (MBE) mahsulotlari va unga bog'liq xizmatlarning yetakchi global yetkazib beruvchisi bo'lib, aralash yarimo'tkazgichlarni tadqiq qilish va sanoat qo'llanmalari uchun mo'ljallangan. Riber MBE qurilmasi juda yuqori boshqaruv bilan substratga juda yupqa material qatlamlarini qo'yishi mumkin. HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) vakuum uskunalari Riber SA bilan jihozlangan. Eng katta uskuna Riber 6000 va eng kichigi Compact 21. U yaxshi holatda va mijozlar tomonidan e'tirof etilgan.
DCA dunyodagi yetakchi oksid MBE hisoblanadi. 1993-yildan beri oksidlanish texnikasi, antioksidant substrat isitish va antioksidant manbalarini tizimli ravishda ishlab chiqish amalga oshirildi. Shu sababli, ko'plab yetakchi laboratoriyalar DCA oksid texnologiyasini tanladilar. Kompozit yarimo'tkazgichli MBE tizimlari butun dunyoda qo'llaniladi. HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ning VJ suyuq azot aylanish tizimi va DCA ning bir nechta modellarining MBE uskunalari P600, R450, SGC800 va boshqalar kabi ko'plab loyihalarda mos tajribaga ega.
Ishlash jadvali
| Xitoy Fanlar akademiyasining Shanxay texnik fizika instituti |
| Xitoy Elektron Texnologiyalari Korporatsiyasining 11-instituti |
| Xitoy Fanlar akademiyasining Yarimo'tkazgichlar instituti |
| Huawei |
| Alibaba DAMO akademiyasi |
| Powertech Technology Inc. |
| Delta Electronics Inc. |
| Suzhou Everbright Photonics |
Nashr vaqti: 2021-yil 26-may
