Suyuq azotli sovutish tizimlari yarimo'tkazgich va chip sanoatida keng qo'llaniladi, shu jumladan:
- Molekulyar nurli epitaksiya texnologiyasi (MBE)
- COB paketidan keyin chipning sinovi
Tegishli mahsulotlar
Vakuumli izolyatsiyalangan quvurlar seriyasi
Vakuumli izolyatsiyalangan moslashuvchan shlanglar seriyasi
Dinamik vakuum nasos tizimi
Vakuumli izolyatsiyalangan fazali ajratgichlar seriyasi
Vakuumli izolyatsiyalangan valflar seriyasi
Quvurlar tizimini qo'llab-quvvatlash uskunalari
MOLEKULAR NUR EPITAKSIYA
Molecular Beam Epitaxy (MBE) texnologiyasi 1950-yillarda vakuumli bug'lanish texnologiyasidan foydalangan holda yarimo'tkazgichli yupqa plyonkali materiallarni tayyorlash uchun ishlab chiqilgan. Ultra yuqori vakuum texnologiyasining rivojlanishi bilan texnologiyani qo'llash yarimo'tkazgich fanlari sohasiga kengaytirildi.
HL MBE suyuq azotli sovutish tizimiga, MBE texnologiyasi uchun maxsus MBE suyuq azotli sovutish tizimini va ko'plab korxonalar, universitetlar va tadqiqot institutlarida qo'llanilgan vakuumli izolyatsiyalangan quvurlar tizimining to'liq to'plamini muvaffaqiyatli ishlab chiqish uchun tashkil etilgan texnik magistralga bo'lgan talabni payqadi. .
Yarimo'tkazgich va chip sanoatining umumiy muammolariga quyidagilar kiradi:
- Suyuq azotning terminal (MBE) uskunasiga bosimi. Terminal (MBE) uskunasining shikastlanishidan bosimning haddan tashqari yuklanishini oldini oling.
- Bir nechta kriyojenik suyuqlik kirish va chiqish nazorati
- Terminal uskunasiga suyuq azotning harorati
- Kriogen gaz emissiyasining oqilona miqdori
- (Avtomatik) Asosiy va tarmoq liniyalarini almashtirish
- VIP ning bosimni sozlash (kamaytirish) va barqarorligi
- Mumkin bo'lgan aralashmalar va muz qoldiqlarini tankdan tozalash
- Terminal suyuqlik uskunasini to'ldirish vaqti
- Quvurni oldindan sovutish
- VIP tizimida suyuqlik qarshiligi
- Tizimning uzluksiz xizmat ko'rsatish vaqtida suyuq azotning yo'qolishini nazorat qilish
HLning vakuumli izolyatsiyalangan quvuri (VIP) standart sifatida ASME B31.3 bosimli quvurlar kodiga muvofiq ishlab chiqilgan. Mijoz zavodining samaradorligi va iqtisodiy samaradorligini ta'minlash uchun muhandislik tajribasi va sifatni nazorat qilish qobiliyati.
ECHIMLAR
HL Cryogenic Equipment mijozlarga yarimo'tkazgich va chip sanoatining talablari va shartlarini qondirish uchun vakuumli izolyatsiyalangan quvurlar tizimini taqdim etadi:
1.Sifatni boshqarish tizimi: ASME B31.3 Bosim quvurlari kodi.
2.Avtomatik boshqaruv funktsiyasi bilan bir nechta kriyojenik suyuqlik kirish va chiqishga ega maxsus fazali ajratgich gaz emissiyasi, qayta ishlangan suyuq azot va suyuq azotning harorati talablariga javob beradi.
3.Adekvat va o'z vaqtida egzoz dizayni terminal uskunalari har doim mo'ljallangan bosim qiymatida ishlashini ta'minlaydi.
4.Gaz-suyuqlik to'sig'i VI quvur liniyasining oxirida vertikal VI trubaga joylashtiriladi. Gaz-suyuqlik to'sig'i VI quvur liniyasining oxiridan VI quvuriga issiqlikni to'sib qo'yish va tizimning uzluksiz va intervalgacha xizmat ko'rsatish vaqtida suyuq azotning yo'qotilishini samarali kamaytirish uchun gaz muhri printsipidan foydalanadi.
5.Vakuumli izolyatsiyalangan vana (VIV) tomonidan boshqariladigan VI quvurlari: Vakuumli izolyatsiyalangan (pnevmatik) o'chirish valfi, vakuumli izolyatsiyalangan nazorat valfi, vakuumli izolyatsiyalangan tartibga soluvchi vana va boshqalar. talab qilinadi. VIV ishlab chiqaruvchida VIP prefabrikasi bilan birlashtirilgan, joyida izolyatsiyalangan ishlov berilmagan. VIV muhr birligi osongina almashtirilishi mumkin. (HL mijozlar tomonidan belgilangan kriogen klapan markasini qabul qiladi va keyin HL tomonidan vakuumli izolyatsiyalangan klapanlarni ishlab chiqaradi. Ba'zi markalar va klapanlarning modellari vakuumli izolyatsiyalangan klapanlarga aylantirilmasligi mumkin.)
6.Cleanliness, agar ichki trubka yuzasi tozaligi uchun qo'shimcha talablar mavjud bo'lsa. Mijozlarga zanglamaydigan po'latdan to'kilishini yanada kamaytirish uchun VIP ichki quvurlar sifatida BA yoki EP zanglamaydigan po'lat quvurlarni tanlash tavsiya etiladi.
7.Vakuumli izolyatsiyalangan filtr: tankdagi mumkin bo'lgan aralashmalar va muz qoldiqlarini tozalang.
8.Bir necha kun yoki undan ko'proq vaqtni o'chirish yoki texnik xizmat ko'rsatishdan so'ng, kriyojenik suyuqlik to'g'ridan-to'g'ri VI quvurlari va terminal uskunasiga kirgandan so'ng muz shlakining oldini olish uchun kriyojenik suyuqlik kiritilishidan oldin VI quvurlari va terminal uskunasini oldindan sovutish juda zarur. Dizaynda oldindan sovutish funktsiyasini hisobga olish kerak. U terminal uskunalari va valflar kabi VI Piping qo'llab-quvvatlash uskunalarini yaxshiroq himoya qiladi.
9.Dinamik va statik vakuumli izolyatsiyalangan (moslashuvchan) quvurlar tizimi uchun mos.
10.Dinamik vakuumli izolyatsiyalangan (moslashuvchan) quvurlar tizimi: VI moslashuvchan shlanglar va / yoki VI trubkasi, o'tish shlanglari, vakuumli izolyatsiyalangan vana tizimi, faza ajratgichlari va dinamik vakuum pompasi tizimi (shu jumladan vakuum nasoslari, solenoid klapanlar va vakuum gauglari va boshqalar. ). Yagona VI moslashuvchan shlangning uzunligi foydalanuvchi talablariga muvofiq sozlanishi mumkin.
11.Har xil ulanish turlari: Vakuumli Bayonet ulanishi (VBC) turi va payvandlangan ulanishni tanlash mumkin. VBC turi joyida izolyatsiyalangan davolanishga muhtoj emas.
