Suyuq azot sovutish tizimlari yarimo'tkazgich va chip sanoatida, shu jumladan jarayoni,
- Molekulyar nur epitaxiyasi (MBE) texnologiyasi
- Paketdan keyin chip sinovi
Tegishli mahsulotlar
Vakuum izolyatsiya qilingan quvur seriyali
Vakuum egiluvchan shlang seriyasini izolyatsiya qildi
Dinamik vakuum nasos tizimi
Vakuum izolyatsiya qilingan bosqich ajratuvchi seriyali
Vakuum izolyatsiya qilingan valfli seriyali
Quvurlar tizimini qo'llab-quvvatlash uskunalari
Molekulyar yoriq epitaxi
Molekulyar nur epitaxy (MBE) Texnologiyalar Vakuum bug'lanish texnologiyasidan foydalanib yarim semizeuktura materiallarini tayyorlash uchun ishlab chiqilgan. Ultra yuqori texnologiyali texnologiyalar rivojlanishi bilan texnologiyalar qo'llanuvi yarimo'tkazgich faniga olib borildi.
XL suyuqlik azot sovutish tizimining talabini boshdan kechirdi, ular ko'plab korxonalar, universitetlar va ilmiy-tadqiqot institutlarida foydalaniladigan vakuum izolyutsiyalangan inshom tizimi va vakuum izolyatsiya qilingan inshoot tizimining to'liq to'plamini payqadi .
Yarimo'tkazgich va chip sanoatining umumiy muammolari o'z ichiga oladi
- Suyuq azot terminaliga (MBE) jihozlari. Joyihani (MBE) uskunalarini qaytarishni oldini oling.
- Bir nechta kriogen suyuq kirish va chiqishlarni boshqarish
- Suyuq azotning harorati terminal uskunalariga
- Kriogen gaz chiqindilarining oqilona miqdori
- (Avtomatik) asosiy va filial yo'nalishlarini almashtirish
- Bosimni sozlash (qisqartirish) va VIP barqarorligi
- Tankdan mumkin bo'lgan aralashmalar va muz qoldiqlarini tozalash
- Terminal suyuq uskunalarning to'ldirish vaqti
- Quvurni oldini olish
- VIP tizimda suyuqlikka chidamlilik
- Tizimga uzluksiz xizmat paytida suyuq azotni yo'qotish
HL ning vakuum izolyatsiya qilingan trubka (VIP) standart sifatida Asme B31.3 bosim kodiga qurilgan. Buyurtmachining zavodining samaradorligi va iqtisodiy samaradorligini ta'minlash uchun muhandislik tajribasi va sifat nazorati qobiliyati.
Echimlar
HL kronogen uskunalari yarimo'tkazgich va chip sanoatining talablari va shartlarini qondirish uchun vakuum izolyatsiya qilingan inshoin tizimi bilan mijozlarni taqdim etadi:
1. Sog'liqni saqlashni boshqarish tizimi: asme b31.3 bosim kodi.
2. Bir nechta kriogen suyuqlik va avtomatik boshqarish funktsiyasi bilan bir nechta kriogen suyuqlik va chiqish funktsiyasi bilan bir nechta kriogen suyuqlik va chiqish funktsiyasi bilan ishlaydigan maxsus fazali ajratuvchi gaz emissiyasining va suyuq azotning haroratini qondiradi.
3. Terminal uskunalari har doim mo'ljallangan bosim qiymatida ishlaydi.
4. Gaz suyuqligining vertikal VI trubkasida VI quvur oxirida joylashgan. Gaz suyuq to'sig'i WIP quvuri oxirida VI quvurning VI quvuriga issiqlikni blokirovka qilish va tizimning uzluksiz va uzluksiz xizmatida suyuq azotni yo'qotishini samarali kamaytiradi.
5.Mi qog'oz izolyatsion valfi (VI) seriyali tomonidan boshqariladigan quvurlar: vakuum izolyatsiyalangan valyutalari VIPni boshqarish uchun har xil elementlarni boshqarish va boshqa turdagi biriktiriladigan klapan. talab qilinadi. Viv ishlab chiqaruvchisida ishlab chiqaruvchi davolanmagan holda ishlab chiqaruvchilarda VIP progrika bilan birlashtirilgan. Vivning muhr birligi osongina almashtirilishi mumkin. (HL mijozlar tomonidan belgilangan kriogen va krifogen vanv brendini qabul qiladi, so'ngra vakuum izolyatsion klapanni HL manziliga olib boradi. Ba'zi markalar va klaslarning modellari vakuum izolyatsion klapanlariga kiritilishi mumkin emas.)
6.Coniklik, agar ichki naycha yuzasi tozalikka qo'shimcha talablar bo'lsa. Mijozlar zanglamaydigan po'latdan yasalgan po'lat to'kilishini yanada kamaytirish uchun "VIP ichki quvurlar" kabi zanglamaydigan po'latdan yasalgan quvurlarni tanlaydilar.
7.Vakuum izolyatsiya qilingan filtr: Tankdan mumkin bo'lgan aralashmalar va muz qoldiqlarini tozalang.
8. Bir necha kun yoki undan ko'proq vaqtni yoki parvarish qilish, kriogen suyuqligidan qochish uchun VI quvur va terminal uskunalarini, shuningdek, kriogen suyuqlik va terminal uskunalaridan saqlaning. Dizaynda oldindan ishlov berish funktsiyasi ko'rib chiqilishi kerak. Bu terminal uskunalari va VI quvurlarni qo'llab-quvvatlash uskunalarini yaxshiroq himoya qiladi, masalan, klapanlar.
9. Ikkala dinamik va statik vakikal ravishda izolyatsiya qilingan (egiluvchan) quvurlar tizimi uchun.
10. Milisik vakuum izolyatsiyalangan (moslashuvchan) quvurlar tizimi: VI egiluvchan shlanglar va / yoki VI trubkasi, faza ajratgichlar tizimi, paspalar, solenoid klapan va vakuum va vakuum o'lchagichlardan iborat. ). Yagona VI egiluvchan shlangning uzunligi foydalanuvchi talablariga muvofiq sozlanishi mumkin.
11. Chuvane ulanish turlari: VBC) turdagi va payvandlangan ulanishni tanlash mumkin. VBC turi Saytda izolyatsiya qilingan davolash kerak emas.
