Suyuq azotli sovutish tizimlari yarimo'tkazgichlar va chip sanoatida, jumladan, jarayonlarda keng qo'llaniladi.
- Molekulyar nurli epitaksiya (MBE) texnologiyasi
- COB paketidan keyin chip sinovi
Tegishli mahsulotlar
Vakuumli izolyatsiyalangan quvurlar seriyasi
Vakuumli izolyatsiyalangan egiluvchan shlang seriyasi
Dinamik vakuum nasos tizimi
Vakuumli izolyatsiyalangan fazali ajratgich seriyasi
Vakuumli izolyatsiyalangan klapan seriyasi
Quvur tizimini qo'llab-quvvatlash uskunalari
MOLEKULYAR NUR EPITAKSIYASI
Molekulyar nurli epitaksiya (MBE) texnologiyasi 1950-yillarda vakuumli bug'lanish texnologiyasidan foydalangan holda yarimo'tkazgichli yupqa plyonkali materiallarni tayyorlash uchun ishlab chiqilgan. Ultra yuqori vakuum texnologiyasining rivojlanishi bilan texnologiyaning qo'llanilishi yarimo'tkazgichlar fani sohasiga ham kengaytirildi.
HL MBE suyuq azotli sovutish tizimiga bo'lgan talabni, MBE texnologiyasi uchun maxsus MBE suyuq azotli sovutish tizimini muvaffaqiyatli ishlab chiqish uchun tashkil etilgan texnik asosni va ko'plab korxonalar, universitetlar va ilmiy-tadqiqot institutlarida qo'llanilgan vakuumli izolyatsiyalangan quvur tizimining to'liq to'plamini e'tiborga oldi.
Yarimo'tkazgichlar va chip sanoatining keng tarqalgan muammolari quyidagilarni o'z ichiga oladi:
- Suyuq azotning terminal (MBE) uskunasiga bosimi. Terminal (MBE) uskunasiga shikast yetkazish natijasida bosimning haddan tashqari ko'tarilishini oldini olish.
- Bir nechta kriogen suyuqlik kirish va chiqish boshqaruvlari
- Suyuq azotning terminal uskunasiga kirish harorati
- Kriogen gaz chiqindilarining oqilona miqdori
- Asosiy va tarmoq liniyalarini (avtomatik) almashtirish
- VIP bosimini sozlash (kamaytirish) va barqarorligi
- Bakdagi mumkin bo'lgan aralashmalar va muz qoldiqlarini tozalash
- Terminal suyuqlik uskunasini to'ldirish vaqti
- Quvur liniyasini oldindan sovutish
- VIP tizimidagi suyuqlikka chidamlilik
- Tizimning uzluksiz ishlashi paytida suyuq azotning yo'qotilishini nazorat qilish
HL ning vakuumli izolyatsiyalangan quvuri (VIP) ASME B31.3 bosimli quvur kodeksiga muvofiq standart sifatida ishlab chiqarilgan. Mijoz zavodining samaradorligi va iqtisodiy samaradorligini ta'minlash uchun muhandislik tajribasi va sifatni nazorat qilish qobiliyati.
YECHIMLAR
HL Cryogenic Equipment mijozlarga yarimo'tkazgichlar va chip sanoatining talablari va shartlariga javob beradigan vakuumli izolyatsiyalangan quvur tizimini taqdim etadi:
1. Sifatni boshqarish tizimi: ASME B31.3 Bosim quvurlari kodi.
2. Avtomatik boshqaruv funktsiyasiga ega bir nechta kriogen suyuqlik kirish va chiqish joylariga ega maxsus fazali ajratgich gaz emissiyasi, qayta ishlangan suyuq azot va suyuq azot harorati talablariga javob beradi.
3. Yetarli va o'z vaqtida ishlab chiqilgan egzoz dizayni terminal uskunalarining har doim mo'ljallangan bosim qiymati doirasida ishlashini ta'minlaydi.
4. Gaz-suyuqlik to'sig'i VI quvurining oxiridagi vertikal VI quvuriga joylashtiriladi. Gaz-suyuqlik to'sig'i VI quvurining oxiridan VI quvuriga issiqlikni to'sish uchun gaz muhrlash printsipidan foydalanadi va tizimning uzluksiz va vaqti-vaqti bilan ishlashi paytida suyuq azot yo'qotilishini samarali ravishda kamaytiradi.
5.VI Vakuumli izolyatsiyalangan klapan (VIV) seriyasi tomonidan boshqariladigan quvurlar: Vakuumli izolyatsiyalangan (pnevmatik) o'chirish klapani, vakuumli izolyatsiyalangan tekshirish klapani, vakuumli izolyatsiyalangan tartibga soluvchi klapan va boshqalarni o'z ichiga oladi. VIPni zaruratga qarab boshqarish uchun turli xil VIV turlari modulli ravishda birlashtirilishi mumkin. VIV ishlab chiqaruvchida VIP oldindan tayyorlash bilan birlashtirilgan, joyida izolyatsiyalangan ishlov berishsiz. VIV ning muhr blokini osongina almashtirish mumkin. (HL mijozlar tomonidan belgilangan kriogen klapan brendini qabul qiladi va keyin HL tomonidan vakuumli izolyatsiyalangan klapanlarni ishlab chiqaradi. Ba'zi klapan brendlari va modellarini vakuumli izolyatsiyalangan klapanlarga aylantirib bo'lmasligi mumkin.)
6. Ichki quvur yuzasining tozaligi uchun qo'shimcha talablar mavjud bo'lsa, tozalik. Zanglamaydigan po'latdan to'kilishini yanada kamaytirish uchun mijozlarga VIP ichki quvurlar sifatida BA yoki EP zanglamaydigan po'lat quvurlarni tanlash tavsiya etiladi.
7. Vakuumli izolyatsiyalangan filtr: Idishdagi mumkin bo'lgan iflosliklar va muz qoldiqlarini tozalang.
8. Bir necha kun yoki undan ko'proq vaqt davomida o'chirish yoki texnik xizmat ko'rsatishdan so'ng, kriogen suyuqlik to'g'ridan-to'g'ri VI quvur va terminal uskunasiga kirgandan keyin muz shlaklarining oldini olish uchun VI quvur va terminal uskunalarini oldindan sovutish juda zarur. Oldindan sovutish funktsiyasini loyihalashda ko'rib chiqish kerak. Bu terminal uskunalari va klapanlar kabi VI quvur qo'llab-quvvatlash uskunalarini yaxshiroq himoya qiladi.
9. Dinamik va statik vakuumli izolyatsiyalangan (moslashuvchan) quvur tizimi uchun mos.
10. Dinamik vakuumli izolyatsiyalangan (egiluvchan) quvur tizimi: VI egiluvchan shlanglar va/yoki VI quvuri, o'tish shlanglari, vakuumli izolyatsiyalangan klapan tizimi, faza ajratgichlari va dinamik vakuum nasos tizimidan (vakuum nasoslari, solenoid klapanlar va vakuum o'lchagichlari va boshqalarni o'z ichiga olgan holda) iborat. Yagona VI egiluvchan shlangning uzunligi foydalanuvchi talablariga muvofiq sozlanishi mumkin.
11. Turli xil ulanish turlari: Vakuumli nayzali ulanish (VBC) turi va payvandlangan ulanishni tanlash mumkin. VBC turi joyida izolyatsiyalangan ishlov berishni talab qilmaydi.
